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半导体制造用超纯水设备的优点

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-03-16 16:10:37

  半导体制造用超纯水设备系统采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理,有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质,使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。

超纯水设备

  半导体制造用超纯水设备工艺流程

  1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

  2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

  3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

  半导体制造用超纯水设备的优点

  1、无需酸碱再生,无化学药剂使用,无酸碱废水排放,生产过程无任何污染,属清洁生产。

  2、无需停机再生,连续生产水质稳定的高纯水。

  3、运行稳定可靠,降低运行和维修费用。

  4、无需派专门人员看守,易于实现设备自动化控制。

  5、设备占地面积小,减少车间建设面积,节约场地建设费用投资。

  6、控制系统可根据用户具体使用要求进行个性化设计,结合先进的控制App,现场在线集中监控重要工艺操作参数,避免人工误操作,多方位确保系统长期稳定运行。

超纯水设备

  半导体制造用超纯水设备操作简单易懂,运行经济环保,出水不含任何杂质,符合半导体制造的用水标准,深受很多厂家的欢迎。

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