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集成电路芯片用超纯水设备工艺解析

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-03-18 13:37:12

  集成电路芯片用超纯水设备主要采用反渗透+混床工艺。混床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺。将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的EDI技术成为水处理技术的一场革命。

超纯水设备

  集成电路芯片用超纯水设备工艺流程

  1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)。

  2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)。

  3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)。

  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)。

  5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水设备

  集成电路芯片用超纯水设备特点

  1、连续运行,产品水水质稳定,容易实现全自动控制。

  2、超纯水设备无须用酸碱再生,且不会因再生而停机。

  3、节省了再生用水及再生污水处理设施,产水率高(可达95%)。

  4、设备单元模块化,可灵活的组合各种流量的净水设施。

  5、无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施,使用安全可靠,避免工人接触酸碱。

  6、安装简单,占地面积小,降低运行及维护成本。

超纯水设备

  集成电路芯片用超纯水设备具有技术先进、操作简便、无污染,是清洁生产技术,不仅在微电子工业得以应用,也在电力工业、医药工业、化工工业和实验室等领域得到日趋广泛的应用。

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