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集成电路生产用超纯水设备系统运行稳定

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-03-31 09:05:46

  集成电路生产过程中,为了达到集成电路用水要求,需要采用反渗透技术和EDI技术相结合,出水水质电阻率可以达到18兆欧以上。不仅如此,该超纯水设备采用PLC可编程控制系统,保证设备运行稳定,操作简单。

超纯水设备

  集成电路生产用超纯水设备工艺流程

  自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

  集成电路生产用超纯水设备特点

  1、整体化程度高,易于扩展,增加膜数量即可增加处理量。

  2、自动化程度高,遇故障马上自停,具有自动保护功能。

  3、膜组件为复合膜卷制而成,表现出更高的溶质分离率和透过速率。

  4、能耗低,水利用率高,运行成本低。

  5、结构合理,占地面积少。

  6、先进的膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,延长膜寿命。

  7、系统无易损部件,无须大量维修,运行长期有效。

  8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。

超纯水设备

  以上是集成电路生产用超纯水设备的简单先容。莱特莱德企业是专业从事水处理工程设备与技术服务的高科技企业,有一批长期从事水处理技术的工程技术人员,为您提供完善的解决方案、高效的技术服务。

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