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集成电路用超纯水设备主要工艺

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-06-08 14:04:09

  集成电路是一种微型电子器件,集成电力的生产离不开水的使用,该行业对于水的要求非常高,不能含有任何导电离子,新集成电路用超纯水设备引进国外高端制水技术,出水水质完全符合行业用水需求。

超纯水设备

  集成电路用超纯水设备工作原理

  供给原水进入EDI系统,主要部分流入树脂/膜内部,而另一部分沿膜板外侧流动,以洗去透出膜外的离子,SHU脂截留水中的容存离子,被截留的离子在电极作用下,阴离子向正极方向运动,阳离子向负极方向运动,阳离子透过阳离子膜,排出树脂/膜之外,阴离子透过阴离子膜,排出树脂/膜之外,浓缩了的离子从废水流路中排出,无离子水从树脂/膜内流出。

超纯水设备

  集成电路用超纯水设备工艺

  离子交换方式,其流程如下:原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

  EDI方式,其流程如下:原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透主机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

  两级反渗透方式,其流程如下:原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

  集成电路用超纯水设备在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

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