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半导体行业用超纯水设备设计标准

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-07-14 11:17:10

  半导体行业用超纯水设备特点繁多,技术先进、质量可靠,满足了不同行业的用水需求,随着技术的进步,应用的范围也就越来越广。

超纯水设备

  半导体行业用超纯水设备工艺

  1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

  2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光树脂→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

  3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)

  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)

  5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水设备

  半导体行业用超纯水设备设计优势

  (1)通过专业技术设计,确保系统短时停机及长时间停机时水质保持稳定。

  (2)通过专业技术保证终端出水恒压、水质稳定。

  (3)通过完善的技术,最大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。

  (4)采用ESPA2超低压膜,运行稳定,能耗低。

  (5)采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。

  (6)配备专门的有化学清洗系统,可定期对反渗透进行化学清洗,以确保系统稳定运行。

  (7)配备浓水置换专业技术,防止膜系统受到微生物污染。

超纯水设备

  (8)EDI及后段出水采用超纯水专用管道,大限度的保证出水水质。

  (9)半导体行业用超纯水设备系统采用新水处理技术双级RO+EDI+混床模块化设计,严格按新技术设计标准,确保水质稳定,长效运行。

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