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微电子生产用超纯水设备技术优势

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-09-02 14:39:16

  微电子行业的生产加工离不开超纯水的使用,微电子生产用超纯水设备针对这一行业用水需求,采用反渗透和EDI相结合的制水工艺,有效去除水中的导电离子,电阻率可以达到18兆欧以上。

超纯水设备

   微电子生产用超纯水设备工艺流程

  1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

  2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

  3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

   微电子生产用超纯水设备技术优势

  1、CPUW核心超纯水专用膜元件

  2、CIP在线清洗消毒系统

  3、GMP标准认证

  4、POD水质在线检测系统

  5、PPH、PVDF洁净管道设计工程师

超纯水设备

   微电子生产用超纯水设备维护方式

  为了保证超纯水设备长期稳定运行、时刻保持出水质量符合生产使用标准,必须对设备进行定期维护。EDI模块是纯水制取装置中高端的一项技术,此模块的价位较为昂贵。所以为了降低企业投资成本,也要对它进行保养维护。为了避免杂质在模块内堆积,要对其进行定期清洗。在设备运行过程中保持压力稳定。膜元件在纯水制取中起到去除污染物质的功效,它具有孔径微小的特点,所以,对该元件要进行定期清洗和更换,避免杂质常年堆积导致膜元件受到污染或者堵塞,直接影响产水质量。

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