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集成电路用超纯水设备工艺设计解读

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2016-09-14 13:49:29

  集成电路用超纯水设备采用世界领先的膜分离技术,同时结合EDI技术和混床技术,根据用户需求设置多种制水工艺,从而多视角、全方位满足不用行业用水需求。

超纯水设备

   集成电路用超纯水设备工艺设计

  为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为原水,再设有介质过滤器,活性炭过滤器,精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等。

  1、介质过滤器主要作用是去除原水中的悬浮物质及机械杂质。设备由优质不锈钢材料制作而成。体内装有布水帽、精制石英砂等,亦可装其它填料。合理的石英砂装填比例及良好的布水系统,使系统的产水水质更加稳定。另外设备还设有气体冲刷功能,能最大限度地清除介质上及床层中的污垢,提高出水水质和延长工作周期。

  2、活性炭过滤器具有除臭、去色、除油、吸附有机物杂质等作用,能最大程度的去除水中的游离余氯,保证反渗透膜的进水水质,设备由优质不锈钢材料制成。

  3、RO主机系统引进国际上先进的反渗透技术,利用压力差原理,能有效地去除水中的盐类,脱盐率可达到99%左右。

  4、混床系统采用离子交换技术,内装阴、阳树脂,合理的树脂层高度能有效地保证出水水质满足用户要求。

超纯水设备

   集成电路用超纯水设备特点

  1、整体化程度高,易于扩展,增加膜数量即可增加处理量。

  2、自动化程度高,遇故障马上自停,具有自动保护功能。

  3、膜组件为复合膜卷制而成,表现出更高的溶质分离率和透过速率。

  4、能耗低,水利用率高,运行成本低。

  5、结构合理,占地面积少。

  6、先进的膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,延长膜寿命。

  7、系统无易损部件,无须大量维修,运行长期有效。

  8、超纯水处理设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。

超纯水设备

  集成电路用超纯水设备主要是有机械过滤器、活性炭过滤器、软化器和精密过滤器组成的预处理系统,主要的设备主要有反渗透设备、EDI模块。传统的超纯水设备采用的核心技术是阴阳混床,EDI技术的出现取代了混床的应用,出水质量高,运行更加稳定。

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